二等量块检定装置概述

陈巧巧 丘 卉 黄万钧

（广东省现代几何与力学计量技术重点实验室，广东 广州 ５１０４０５；广东省计量科学研究院，广东 广州 ５１０４０５）

摘 要：本文概述了利用激光干涉测长原理研发二等量块自动测量系统并对其进行成果验证。该装置的标准采用 ６３３ｎｍ碘饱和吸收稳频 Ｈｅ －Ｎｅ激光器；硬件设计包括开发机械本体，搭建激光光路和信号处理模块，研发精密定位的柔性传感器、选配相关电机驱动和环境参数监控系 统；软件研发包括数据采集和监控处理程序、测量结果判定及环境参数补偿软件；本装置测量范围上限 １００ｍｍ，测量量块的扩展不确定度为 Ｕ＝（０.０４～０.０８）μｍ（ｋ＝３）。本装置为华南地区的最高等级计量标准，对外开展长度尺寸为（０.５～１００）ｍｍ的二等量块检定业务。

关键词：量块；激光干涉；不确定度