洁净室微粒计数浓度检测结果不确定度评定

洁净室微粒计数浓度检测结果不确定度评定 

黄婷婷 

（德阳市计量测试所，四川德阳６１８０００） 

摘要：目前洁净室被广泛应用于医疗、电子及食品行业等，本文依据ＧＢ ５０５９１ － ２０１０《洁净室施工及验收规范》，对洁净室检测中的微粒计数 浓度测得值进行不确定度评定。通过建立测量模型，进行不确定度来源分析，得出测得值的相对扩展不确定度。 关键词：洁净室；微粒；不确定度