磁粉检测灵敏度槽深的显微干涉检测方法研

磁粉检测灵敏度槽深的显微干涉检测方法研究 

古耀达 何冠婷 张兢 杨昭信 邝俊杰 

（广州计量检测技术研究院，广东广州５１００３０） 

摘要：磁粉检测标准灵敏度微米槽深的校准检测是长度计量检测的一项难点。目前，开展磁粉检测标准灵敏度微米槽深溯源的计量部门不 多，已开展的仍使用接触式位移传感方式来磁粉检测标准灵敏度片离散的槽深度值，检测难度较大。本文介绍了一种用非接触的显微干涉测 头代替接触式传感测头，利用ＧＵＩＤＥ开发控制人机界面，建立硬件通信机制，实现智能化光干涉检测标准灵敏度微米槽深检测的方法。 

关键词：显微干涉；磁粉检测；标准灵敏度；微米槽深