步距规动态测量方法研究

步距规动态测量方法研究

丁　晨¹　王蔚晨²　高宏堂²　杨自本²

（1.安徽省计量科学研究院；2.中国计量科学研究院）

摘要：步距规是一种典型的多量值面间距标准器，由于各工作面间相互阻隔，使步距规的校准具有一定难度。本文提出了一种新的测量方法，即应用光切显微镜的测量原理实现被测工作面的精确定位，给激光干涉比长仪提供了各个测量面的触发信号，从而实现了面间距的非接触动态连续测量。根据该方法研制了光学测头，并安装在激光干涉比长仪上进行了测量，分别对测头的定位精度、系统的测量重复性以及测量精度进行了实验，并给出了实验结果。目前，用此方法测量步距规的面间距，重复性可达16nm，测量不确定度优于U=0.1μm+1.5×10^-6L，k=2，其中L为被测步距规总长，μm。

关键词：步距规；面间距测量；精确定位；非接触测量；动态连续测量