一种压阻式压力传感器温度特性研究

一种压阻式压力传感器温度特性研究

王在旗　纪金龙　吕艺晖　刘君健

（厦门市计量检定测试院）

摘要：压阻式压力传感器的输出会明显受到温度变化的影响。本文研究了在温升和温降过程中，不同温度条件下传感器的零点漂移、输出误差，以及满量程范围的输出信号的变化，进一步提出了利用多项式-最小二乘法拟合试验数据进行温度补偿函数的探索，对这类传感器在宽温区条件下的温度补偿设计提供了一定的数据支撑和参考。

关键词：压阻式压力传感器；温度特性；试验研究