并联式标准表法气体小流量标准装置的建立与性能分析

并联式标准表法气体小流量标准装置的建立与性能分析

黄志凡　刘慧平　王智辉　杨帆　李健清

（深圳市计量质量检测研究院）

摘　要：本文通过对实验室研制的一套由标准流量计模块、温度压力补偿模块、流量控制模块与测控模块组成，结构紧凑的并联式标准表法气体小流量标准装置的结构、原理、性能进行了分析，并进行不确定度评定。结果表明：该标准装置满足实验室小量程气体流量计的日常校准工作需求。

关键词：气体流量计；不确定度；流量标准装置；标准表法