基于ＣＣＤ视觉和激光干涉测量的三等金属线纹尺检定方法探讨

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李巧丽

（福建省计量科学研究院）

摘　要：融合ＣＣＤ视觉系统、大理石导轨和激光干涉仪组成三等金属线纹尺检定装置，实现三等线纹尺尺长误差的检定。分析探讨检定装置和检定方法中的关键技术，通过三等金属线纹尺国家比对结果，验证检定装置和检定方法的可靠性。

关键词：ＣＣＤ；激光干涉仪；大理石导轨；三等标准金属线纹尺；像素

基于ＣＣＤ视觉和激光干涉测量的三等 金属线纹尺检定方法探讨