基于专利导航和文献综述的薄膜热电偶技术发展分析
基于专利导航和文献综述的薄膜热电偶技术发展分析
唐 瑞1,2,3 肖 洁1,2,3 吴 洋1,2,3 张 弛1,2,3 要文波4 李传友5
（1.重庆材料研究院有限公司；2.国家仪表功能材料工程技术研究中心；3.高性能测温材料国家地方联合工程研究中心；
4.国网重庆市电力公司营销服务中心；5.安徽天康（集团）股份有限公司）
摘要：本文结合专利导航分析和文献综述，对薄膜热电偶专利申请、技术分布、创新主体等展开分析。结果表明：在航空发动机、精密车床、燃料电池等产业的牵引下，薄膜热电偶正处于高速发展阶段，其制备工艺会随微纳加工技术不断进步，且温度敏感元件已从标准热电偶材料向非标、陶瓷、复合等更多方向拓展，目前，中国已成为全球最主要的薄膜热电偶研究地区。因此，应重点关注高温、陶瓷基和复合薄膜热电偶的开发，以及与先进MEMS工艺的结合。
关键词：专利导航；薄膜热电偶；综述
