接触式干涉仪的数字化改造

接触式干涉仪的数字化改造 

马 响 马超超 王建军 孙永雷 （南京晨光集团有限责任公司）

摘 要：为解决接触式干涉仪使用过程中对线不准、人工读数误差大等问题，采用图像采集与处理技术对其进行数字化升级改造。使用工业相 机，将实时采集的干涉条纹图像传输至计算机，同时基于灰度投影法，实现自动定度与零级干涉条纹中心的定位，根据零级干涉条纹中心的偏 移量，计算被测量块与标准量块的差值，并将相关测量信息自动存储至数据库。实验表明：改造后的接触式干涉仪性能稳定可靠，能准确计量 检校三等及以下的量块长度。 

关键词：接触式干涉仪；图像处理；数字化改造