白光干涉仪在测量中的常见问题及解决方式

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白光干涉仪在测量中的常见问题及解决方式

赵淑君（安徽省长江计量所）

摘要：白光干涉仪广泛应用于各类微纳米台阶高度、微观表面形貌以及表面粗糙度测量。本文从外部使用环境、被测件表面、仪器自身参数设置、设备维护等几个方面，分析可能引起白光干涉仪测量结果不准确的原因，并结合使用情况，提出相应的建议，从而提高测量结果准确性。

关键词：白光干涉仪；测量结果；准确性