精密激光小角度测量装置设计

精密激光小角度测量装置设计

邵文１　刘勇２　张大鹏１　韩素超３　郑明珠２

（１.石家庄海山实业发展总公司；２.北京航天计量测试技术研究所；３.河北翼凌机械制造总厂）

摘　要：本文激光小角度测量装置采用正弦原理和激光干涉技术，实现对小角度量高准确度测量。该装置具有独立的回转轴系，可确保稳定性；采用４００ｍｍ大臂长结构设计，可提高灵敏度；空心式角隅棱镜等光学器件设计和光源的选择，可避免多种误差源的干扰。同时，在高准确度的小角度计量方面，提出了多种新的设计和改进，实现了小角度测量误差优于００５″，并通过同等级仪器间的测量比对，验证整套装置良好的测量效果。

关键词：小角度；正弦原理；空心角隅棱镜；塞曼效应