低成本高精度超低浓度气体配制装置

低成本高精度超低浓度气体配制装置

耿彦红１　王瑞１　李盈２　赵蒙２

（１.苏州市计量测试院；２.苏州科技大学物理科学与技术学院）

摘　要：针对静态配气法准确度较低的问题，设计研制了一套低成本、高精度、超低浓度的气体配制装置。该装置采用分压配气法，融入真空技术，将质量流量计与精密气压计相结合，通过背景气和三路目标气复用质量流量控制器和高速开关阀优化成本结构，并结合气动隔膜阀和高速开关阀，控制气体组分的分压强增量。结果表明：该装置普适性较好，在超低浓度气体配制及应用领域具有显著优势。

关键词：低成本；高精度；超低浓度；气体配制装置