伺服驱动双活塞气体流量标准装置控制特性的研究

伺服驱动双活塞气体流量标准装置控制特性的研究

徐旷宇　冯得明　陈炜骄　殷璋臖

（湖南省计量检测研究院）

摘　要：伺服驱动双活塞气体流量标准装置是通过伺服电机控制的活塞往复运动，实现连续气体流量输出。该装置是将流量计、压力和温度传感器及编码器等进行整合，通过计算机计算检定参数并显示结果。其中，控制系统是基于ＰＩＤ控制，可确保活塞运动速度的快速、准确、稳定跟踪。实验表明：该装置具有较好地控制精度和稳定性，可实现高精度层流流量计的量值溯源，满足应用需求。

关键词：伺服驱动；双活塞；气体流量标准装置；层流流量计；量值溯源