一种基于双面白光共焦光谱的 ＩＣＦ靶 零件平行度测量方法

顾倩倩 王 冰 陈 雪 马小军 

（中国工程物理研究院激光聚变研究中心，四川 绵阳 ６２１９００）

摘 要：为了精密测量 ICF靶零件的平行度，本文提出了一种基于双面白光共焦光谱的样品平行度测量方法。该方法利用双向对顶安装的白 光共焦传感器组件、精密位移平台对样品上下表面轮廓进行测量，使用最小二成拟合方法计算上下表面相对于水平平面的角度偏差，然后，计算出样品的平行度。测量不确定度评估结果表明，当 K=2时，该方法的测量不确定度可达 ０.００１６°。

关键词：白光双面共焦光谱；ＩＣＦ靶零件；平行度