氮化稼米片的制备及测试表征

氮化稼米片的制备及测试表征

蔡晓平1   沈鹏飞2    崔 真2    李恩玲2    高春昱3

(1.西北国家计量测试中心:2.西安理工大学 理学院:3.陕西省计量科学研究院)

摘 要：二维GaN 纳米结构的制备对二维 GaN 基电子光电子等纳米器件具有重要意义。本文采用化学气相沉积(CVD)制备二维GaN纳米片时,使用液态金属催化剂,成功制备了二维 GaN 纳米片,得到制备GaN纳米片的最佳工艺条件。通过对制备的 GaN 纳米片进行扫描电子显微镜(SEM)能谱仪(EDS)以及 X 射线衍射仪(XRD)测试表征，结果表明：制备的 GaN 米片是表面光滑、大小薄均匀、结品度良好的六方钎锌矿结构 GaN 纳米片。

关键词：二维材料;GaN;化学气相沉积(CVD);液态金属