一种新型工业ＣＴ空间分辨率标准器定值 溯源及应用研究

一种新型工业ＣＴ空间分辨率标准器定值溯源及应用研究

王震　王云祥　方丹

（苏州市计量测试院）

摘　要：工业ＣＴ是一种无损检测技术，可进行物体内部结构的尺寸测量及缺陷分析。工业ＣＴ空间分辨率是指工业ＣＴ设备在空间上可检测到最小细节的能力，是衡量工业ＣＴ设备检测性能的重要指标。该项目结合光刻技术，研制了一套工业ＣＴ空间分辨率标准器，通过多种测量方式，对其进行形貌观察和定值溯源，并对工业ＣＴ设备的空间分辨率进行了校准。

关键词：工业ＣＴ；空间分辨率；定值溯源