照明方式对微型圆柱直径测量的影响

照明方式对微型圆柱直径测量的影响

叶成钢　胡　勇　王　琦　马小军

（中国工程物理研究院激光聚变研究中心）

摘要：在靶参数检验过程中，发现应用测量显微镜测量黑腔、芯轴等圆柱形零件的直径时，其测量值始终偏小。因此，本文通过理论分析和实验验证，明确了问题产生的原因，即不平行光照明造成底光照明模式下圆柱直径测量值偏小，提出了采用平行光照明方式解决该问题的技术方案，并开展了相应的测试验证。结果表明，本文所建议的测量方案使微型圆柱直径测量误差大为降低，其测量误差约1μm。

关键词：微型圆柱；照明方式；直径测量；平行照明